01
概览
ALS Tape 提供适用于晶圆切割、临时固定、背磨支撑以及后续半导体加工步骤的半导体工艺胶带。主要方向是 UV 切割胶带,这类胶带可在晶圆切割过程中提供稳定粘附,并在 UV 照射后实现可控释放,从而在拾取过程中保持洁净、不引入污染。材料选择通常由晶圆尺寸、工艺顺序、UV 照射前所需粘附等级以及 UV 固化后的释放行为决定。ALS 可支持样品评估、分切供货以及适用于工艺开发或量产的加工胶带形式。
02
核心特性
UV 切割胶带,在晶圆切割过程中提供受控粘附,并在 UV 照射后实现洁净释放
适用于半导体工艺处理中的临时固定和背磨支撑
重点关注洁净操作、污染控制和一致的剥离行为
可按晶圆尺寸和工艺要求提供分切及匹配工艺的胶带形式
03
应用
在 UV 释离条件下支持晶圆切割
半导体工艺处理中的临时固定
背磨和相关晶圆支撑流程
用于半导体制造的洁净室胶带供货

